產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入等工序

產(chǎn)品中文名：砷烷

產(chǎn)品英文名：Arsenic Hydride

化學(xué)式：AsH3

CAS號(hào)：7784-42-1

UN 號(hào)：2188

純度：99.9999%

閥門(mén)型號(hào)：DISS632