產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：四氯化硅

產(chǎn)品英文名：Silicon Tetrachloride

化學(xué)式：SiCl4

CAS號：10026-04-7

UN 號：1818

純度：99.9999%

閥門型號：1/4VCR/1/2VCR