氦氣
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品主要作用:半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、載流等工序
產(chǎn)品中文名:氦氣
產(chǎn)品英文名:Helium
化學式:He
CAS號:7440-59-7
UN 號:1046
純度:99.999%和 99.9999%
閥門型號:CGA580
氦氣
產(chǎn)品主要作用:半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、載流等工序
產(chǎn)品中文名:氦氣
產(chǎn)品英文名:Helium
化學式:He
CAS號:7440-59-7
UN 號:1046
純度:99.999%和 99.9999%
閥門型號:CGA580